半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2000年
6期
620-624
,共5页
谢志刚%韩立%董占民%王秀凤%陈皓明%顾毓沁%晋宏师
謝誌剛%韓立%董佔民%王秀鳳%陳皓明%顧毓沁%晉宏師
사지강%한립%동점민%왕수봉%진호명%고육심%진굉사
扫描热显微镜%热参数%热桥%半导体激光器
掃描熱顯微鏡%熱參數%熱橋%半導體激光器
소묘열현미경%열삼수%열교%반도체격광기
从集总参数模型出发,分析了热敏电阻型热探针的热传导机制和热物性测量机理,说明了扫描热探针的信号与样品表面温度,样品与探针间的热阻以及样品热导率等因素有关.在不同的工作条件下,可用以进行表面的温度分布和局域热导分布等热参数的测量.把扫描热显微镜用于半导体激光器结区温度分布和室温下热桥样品的实际测量,得到的热象图提供了亚微米尺度的热参数信息.
從集總參數模型齣髮,分析瞭熱敏電阻型熱探針的熱傳導機製和熱物性測量機理,說明瞭掃描熱探針的信號與樣品錶麵溫度,樣品與探針間的熱阻以及樣品熱導率等因素有關.在不同的工作條件下,可用以進行錶麵的溫度分佈和跼域熱導分佈等熱參數的測量.把掃描熱顯微鏡用于半導體激光器結區溫度分佈和室溫下熱橋樣品的實際測量,得到的熱象圖提供瞭亞微米呎度的熱參數信息.
종집총삼수모형출발,분석료열민전조형열탐침적열전도궤제화열물성측량궤리,설명료소묘열탐침적신호여양품표면온도,양품여탐침간적열조이급양품열도솔등인소유관.재불동적공작조건하,가용이진행표면적온도분포화국역열도분포등열삼수적측량.파소묘열현미경용우반도체격광기결구온도분포화실온하열교양품적실제측량,득도적열상도제공료아미미척도적열삼수신식.
