物理学报
物理學報
물이학보
2000年
3期
497-501
,共5页
刘明海%胡希伟%邬钦崇%俞国扬
劉明海%鬍希偉%鄔欽崇%俞國颺
류명해%호희위%오흠숭%유국양
采用自洽微波功率吸收的二维混合模型,对电子回旋共振等离子体源中的各种物理参量(电离速率、等离子体密度、位势、电子温度)进行数值模拟.结果表明:等离子体参数随运行条件(中性气压和微波功率)变化呈现出区域特征、饱和现象和振荡行为等非线性现象.
採用自洽微波功率吸收的二維混閤模型,對電子迴鏇共振等離子體源中的各種物理參量(電離速率、等離子體密度、位勢、電子溫度)進行數值模擬.結果錶明:等離子體參數隨運行條件(中性氣壓和微波功率)變化呈現齣區域特徵、飽和現象和振盪行為等非線性現象.
채용자흡미파공솔흡수적이유혼합모형,대전자회선공진등리자체원중적각충물리삼량(전리속솔、등리자체밀도、위세、전자온도)진행수치모의.결과표명:등리자체삼수수운행조건(중성기압화미파공솔)변화정현출구역특정、포화현상화진탕행위등비선성현상.
