强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2000年
2期
129-133
,共5页
吴永刚%陈玲燕%张哲%魏军明%秦树基%唐伟星
吳永剛%陳玲燕%張哲%魏軍明%秦樹基%唐偉星
오영강%진령연%장철%위군명%진수기%당위성
X射线激光%稀土元素%Yb薄膜靶%氧化
X射線激光%稀土元素%Yb薄膜靶%氧化
X사선격광%희토원소%Yb박막파%양화
用电子束蒸发方法淀积制备X射线激光稀土元素Yb薄膜靶,将薄膜靶在不同的环境气氛中进行氧化.用X射线光电子谱(XPS)、俄歇电子谱(AES)和X射线衍射(XRD)方法研究了Yb薄膜靶表面氧化层的元素价态、组分和微观结构.发现薄膜表面氧化层中存在分层结构,干燥空气中储存的Yb薄膜表面氧化层由表及里的组分依次为化学吸附水、氢氧化物、氧化物及金属元素.表面氢氧化物和氧化物以非晶态形式存在.潮湿空气中水分是薄膜靶氧化速率增加的主要原因.
用電子束蒸髮方法澱積製備X射線激光稀土元素Yb薄膜靶,將薄膜靶在不同的環境氣氛中進行氧化.用X射線光電子譜(XPS)、俄歇電子譜(AES)和X射線衍射(XRD)方法研究瞭Yb薄膜靶錶麵氧化層的元素價態、組分和微觀結構.髮現薄膜錶麵氧化層中存在分層結構,榦燥空氣中儲存的Yb薄膜錶麵氧化層由錶及裏的組分依次為化學吸附水、氫氧化物、氧化物及金屬元素.錶麵氫氧化物和氧化物以非晶態形式存在.潮濕空氣中水分是薄膜靶氧化速率增加的主要原因.
용전자속증발방법정적제비X사선격광희토원소Yb박막파,장박막파재불동적배경기분중진행양화.용X사선광전자보(XPS)、아헐전자보(AES)화X사선연사(XRD)방법연구료Yb박막파표면양화층적원소개태、조분화미관결구.발현박막표면양화층중존재분층결구,간조공기중저존적Yb박막표면양화층유표급리적조분의차위화학흡부수、경양화물、양화물급금속원소.표면경양화물화양화물이비정태형식존재.조습공기중수분시박막파양화속솔증가적주요원인.
