材料科学与工艺
材料科學與工藝
재료과학여공예
MATERIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
2000年
1期
55-58
,共4页
李成明%赵晋香%田林海%王建明%徐重%郑维能
李成明%趙晉香%田林海%王建明%徐重%鄭維能
리성명%조진향%전림해%왕건명%서중%정유능
离子轰击%渗层厚度%表面成分%等离子体密度
離子轟擊%滲層厚度%錶麵成分%等離子體密度
리자굉격%삼층후도%표면성분%등리자체밀도
研究了双层辉光离子钨钼共渗在离子轰击条件下形成渗层和无离子轰击时形成沉积层的表观过程．结果表明,在形成沉积层时,由于离子轰击作用已不存在,使渗层厚度减少26%, 用朗缪尔探针对双层辉光离子钨钼共渗过程进行了等离子体的诊断, 等离子体对表面成分有较大影响．合理的等离子体密度范围为5×1011～3×1012cm-3．
研究瞭雙層輝光離子鎢鉬共滲在離子轟擊條件下形成滲層和無離子轟擊時形成沉積層的錶觀過程．結果錶明,在形成沉積層時,由于離子轟擊作用已不存在,使滲層厚度減少26%, 用朗繆爾探針對雙層輝光離子鎢鉬共滲過程進行瞭等離子體的診斷, 等離子體對錶麵成分有較大影響．閤理的等離子體密度範圍為5×1011～3×1012cm-3．
연구료쌍층휘광리자오목공삼재리자굉격조건하형성삼층화무리자굉격시형성침적층적표관과정．결과표명,재형성침적층시,유우리자굉격작용이불존재,사삼층후도감소26%, 용랑무이탐침대쌍층휘광리자오목공삼과정진행료등리자체적진단, 등리자체대표면성분유교대영향．합리적등리자체밀도범위위5×1011～3×1012cm-3．
