稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
1998年
3期
208-211
,共4页
谢书银%袁鹏%万关良%李励本%张锦心
謝書銀%袁鵬%萬關良%李勵本%張錦心
사서은%원붕%만관량%리려본%장금심
硅片%塑性形变%位错%热处理
硅片%塑性形變%位錯%熱處理
규편%소성형변%위착%열처리
通过1200℃、1.5 h急冷热处理实验, 研究了硅中位错对高温塑性形变的影响及热处理过程中位错密度的变化. 实验结果表明, 硅中原有位错密度越大或热处理急冷温度越高, 均使塑性形变更加严重. 位错密度为0.4～2×103 cm-2的硅片的弯曲度变化是无位错硅片的3倍多, 1200℃急冷产生的形变量是770℃急冷的4倍. 无位错硅片在高温热处理中会产生大量位错,且急冷温度越高, 产生的位错越多. 热处理中区熔硅片容易在边缘产生位错星形结构.
通過1200℃、1.5 h急冷熱處理實驗, 研究瞭硅中位錯對高溫塑性形變的影響及熱處理過程中位錯密度的變化. 實驗結果錶明, 硅中原有位錯密度越大或熱處理急冷溫度越高, 均使塑性形變更加嚴重. 位錯密度為0.4～2×103 cm-2的硅片的彎麯度變化是無位錯硅片的3倍多, 1200℃急冷產生的形變量是770℃急冷的4倍. 無位錯硅片在高溫熱處理中會產生大量位錯,且急冷溫度越高, 產生的位錯越多. 熱處理中區鎔硅片容易在邊緣產生位錯星形結構.
통과1200℃、1.5 h급랭열처리실험, 연구료규중위착대고온소성형변적영향급열처리과정중위착밀도적변화. 실험결과표명, 규중원유위착밀도월대혹열처리급랭온도월고, 균사소성형변경가엄중. 위착밀도위0.4～2×103 cm-2적규편적만곡도변화시무위착규편적3배다, 1200℃급랭산생적형변량시770℃급랭적4배. 무위착규편재고온열처리중회산생대량위착,차급랭온도월고, 산생적위착월다. 열처리중구용규편용역재변연산생위착성형결구.
