电子学报
電子學報
전자학보
ACTA ELECTRONICA SINICA
1999年
8期
26-29
,共4页
朱兆旻%阮刚%庞海舟%冒慧敏
硃兆旻%阮剛%龐海舟%冒慧敏
주조민%원강%방해주%모혜민
集成电路%工艺模拟%软件校验
集成電路%工藝模擬%軟件校驗
집성전로%공예모의%연건교험
本文对知名的集成电路工艺模拟软件SSUPREM4进行了较仔细的校验,用SSUPREM4模拟了氧化、扩散工艺,并同实验值进行了比较,模拟值和实验值的偏差在10%以内,与集成电路器件模拟软件S-PISCES联用校验了SSUPREM4的全工序模拟结果,校验结果有较大参考价值.
本文對知名的集成電路工藝模擬軟件SSUPREM4進行瞭較仔細的校驗,用SSUPREM4模擬瞭氧化、擴散工藝,併同實驗值進行瞭比較,模擬值和實驗值的偏差在10%以內,與集成電路器件模擬軟件S-PISCES聯用校驗瞭SSUPREM4的全工序模擬結果,校驗結果有較大參攷價值.
본문대지명적집성전로공예모의연건SSUPREM4진행료교자세적교험,용SSUPREM4모의료양화、확산공예,병동실험치진행료비교,모의치화실험치적편차재10%이내,여집성전로기건모의연건S-PISCES련용교험료SSUPREM4적전공서모의결과,교험결과유교대삼고개치.
