光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2003年
1期
3-7
,共5页
孙宏波%贺银波%吴国忠%曾广杰%余飞鸿
孫宏波%賀銀波%吳國忠%曾廣傑%餘飛鴻
손굉파%하은파%오국충%증엄걸%여비홍
晶体厚度测量%光谱法
晶體厚度測量%光譜法
정체후도측량%광보법
首次提出利用光谱特性来确定晶体厚度.从理论上推导出其实现的可行性,然后结合实验分析了测量系统的具体实现过程及计算厚度的算法,并分析了影响测量精度的主要因素.
首次提齣利用光譜特性來確定晶體厚度.從理論上推導齣其實現的可行性,然後結閤實驗分析瞭測量繫統的具體實現過程及計算厚度的算法,併分析瞭影響測量精度的主要因素.
수차제출이용광보특성래학정정체후도.종이론상추도출기실현적가행성,연후결합실험분석료측량계통적구체실현과정급계산후도적산법,병분석료영향측량정도적주요인소.
