材料研究学报
材料研究學報
재료연구학보
CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
2002年
5期
517-522
,共6页
微观结构%表面形貌%氧化铌薄膜%直流反应溅射%电致变色
微觀結構%錶麵形貌%氧化鈮薄膜%直流反應濺射%電緻變色
미관결구%표면형모%양화니박막%직류반응천사%전치변색
采用直流反应溅射工艺制备了氧化铌(Nb2O5)薄膜,用XRD、AFM、AES和循环伏安等测试手段分析并研究了薄膜的组成、结构、表面形貌和电致变色性能间的关系.结果表明:在基底加热条件下可获得晶态TT-Nb2O5薄膜,沉积气压较高时的薄膜具有沿(100)面定向生长、结构相对较为疏松的柱状结构,这种薄膜具有良好的电化学稳定性,锂离子注入/抽出可逆性好,并具有灰色变色特性,在可见区(波长600 nm)的透过率调制幅度为35%.
採用直流反應濺射工藝製備瞭氧化鈮(Nb2O5)薄膜,用XRD、AFM、AES和循環伏安等測試手段分析併研究瞭薄膜的組成、結構、錶麵形貌和電緻變色性能間的關繫.結果錶明:在基底加熱條件下可穫得晶態TT-Nb2O5薄膜,沉積氣壓較高時的薄膜具有沿(100)麵定嚮生長、結構相對較為疏鬆的柱狀結構,這種薄膜具有良好的電化學穩定性,鋰離子註入/抽齣可逆性好,併具有灰色變色特性,在可見區(波長600 nm)的透過率調製幅度為35%.
채용직류반응천사공예제비료양화니(Nb2O5)박막,용XRD、AFM、AES화순배복안등측시수단분석병연구료박막적조성、결구、표면형모화전치변색성능간적관계.결과표명:재기저가열조건하가획득정태TT-Nb2O5박막,침적기압교고시적박막구유연(100)면정향생장、결구상대교위소송적주상결구,저충박막구유량호적전화학은정성,리리자주입/추출가역성호,병구유회색변색특성,재가견구(파장600 nm)적투과솔조제폭도위35%.
