真空
真空
진공
VACUUM
2002年
3期
27-29
,共3页
牟宗信%关秉羽%李国卿%宋林峰
牟宗信%關秉羽%李國卿%宋林峰
모종신%관병우%리국경%송림봉
非平衡磁控溅射%薄膜%等离子体
非平衡磁控濺射%薄膜%等離子體
비평형자공천사%박막%등리자체
研究了调制磁场对于非平衡磁控溅射系统的作用,调制磁场可以使非平衡磁控溅射形成具有较高等离子体密度的等离子体束流,延伸到靶前110 mm以上.在靶前60～110 mm的位置上,收集电流密度高达9～10 mA/cm2,收集的电流密度比常规的磁控溅射方法高9倍以上,在调制磁场作用下磁控溅射沉积铜薄膜的沉积速率可以增加到14倍.
研究瞭調製磁場對于非平衡磁控濺射繫統的作用,調製磁場可以使非平衡磁控濺射形成具有較高等離子體密度的等離子體束流,延伸到靶前110 mm以上.在靶前60～110 mm的位置上,收集電流密度高達9～10 mA/cm2,收集的電流密度比常規的磁控濺射方法高9倍以上,在調製磁場作用下磁控濺射沉積銅薄膜的沉積速率可以增加到14倍.
연구료조제자장대우비평형자공천사계통적작용,조제자장가이사비평형자공천사형성구유교고등리자체밀도적등리자체속류,연신도파전110 mm이상.재파전60～110 mm적위치상,수집전류밀도고체9～10 mA/cm2,수집적전류밀도비상규적자공천사방법고9배이상,재조제자장작용하자공천사침적동박막적침적속솔가이증가도14배.
