强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2002年
3期
453-455
,共3页
金大志%唐平瀛%刘铁%谈效华%戴晶怡
金大誌%唐平瀛%劉鐵%談效華%戴晶怡
금대지%당평영%류철%담효화%대정이
潘宁放电%密封电真空器件%真空度
潘寧放電%密封電真空器件%真空度
반저방전%밀봉전진공기건%진공도
密封电真空器件的可靠性尤其重要,而影响其可靠性的主要因素是 真空度.对于具有两个电极的密封电真空器件由于无法利用其自身的电极结构直接测定其真 空度,因此需要研究并建立一种合适的真空度测量方法.分析了利用潘宁放电来测量两个电 极的密封电真空器件真空度的工作原理,设计了测试实验装置,初步建立了密封电真空器件的潘宁放电模型,给出了有关实验数据.
密封電真空器件的可靠性尤其重要,而影響其可靠性的主要因素是 真空度.對于具有兩箇電極的密封電真空器件由于無法利用其自身的電極結構直接測定其真 空度,因此需要研究併建立一種閤適的真空度測量方法.分析瞭利用潘寧放電來測量兩箇電 極的密封電真空器件真空度的工作原理,設計瞭測試實驗裝置,初步建立瞭密封電真空器件的潘寧放電模型,給齣瞭有關實驗數據.
밀봉전진공기건적가고성우기중요,이영향기가고성적주요인소시 진공도.대우구유량개전겁적밀봉전진공기건유우무법이용기자신적전겁결구직접측정기진 공도,인차수요연구병건립일충합괄적진공도측량방법.분석료이용반저방전래측량량개전 겁적밀봉전진공기건진공도적공작원리,설계료측시실험장치,초보건립료밀봉전진공기건적반저방전모형,급출료유관실험수거.
