人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2002年
2期
111-113
,共3页
闫泽武%王和明%蔡以超%杨耀源%东艳苹%范志达
閆澤武%王和明%蔡以超%楊耀源%東豔蘋%範誌達
염택무%왕화명%채이초%양요원%동염평%범지체
化学气相沉积法%硫化锌%缺陷%热等静压%红外透过率
化學氣相沉積法%硫化鋅%缺陷%熱等靜壓%紅外透過率
화학기상침적법%류화자%결함%열등정압%홍외투과솔
本文报道了用化学气相沉积(CVD)法制备高质量红外光学体块材料硫化锌(ZnS)的制备工艺,研究了晶体缺陷对其光学性能的影响.XRD,XEM及IR表明,采用优化的沉积工艺和热等静压后处理,减少晶体中杂质、微孔、六方结构ZnS及Zn-H键的形成,使生长的CVD ZnS具有高的红外透过率,提高了材料的光学品质.
本文報道瞭用化學氣相沉積(CVD)法製備高質量紅外光學體塊材料硫化鋅(ZnS)的製備工藝,研究瞭晶體缺陷對其光學性能的影響.XRD,XEM及IR錶明,採用優化的沉積工藝和熱等靜壓後處理,減少晶體中雜質、微孔、六方結構ZnS及Zn-H鍵的形成,使生長的CVD ZnS具有高的紅外透過率,提高瞭材料的光學品質.
본문보도료용화학기상침적(CVD)법제비고질량홍외광학체괴재료류화자(ZnS)적제비공예,연구료정체결함대기광학성능적영향.XRD,XEM급IR표명,채용우화적침적공예화열등정압후처리,감소정체중잡질、미공、륙방결구ZnS급Zn-H건적형성,사생장적CVD ZnS구유고적홍외투과솔,제고료재료적광학품질.
