铝掺杂对硅基薄膜电致发光的影响
려참잡대규기박막전치발광적영향
  • 万方数据
    科学通报 과학통보
    CHINESE SCIENCE BULLETIN
    2001年 16期 1342-1344 ,共3页

    吴雪梅%叶春暖%诸葛兰剑%董业民%汤乃云%俞跃辉%宁兆元%姚伟国

    오설매%협춘난%제갈란검%동업민%탕내운%유약휘%저조원%요위국

    掺铝%硅基薄膜%电致发光 摻鋁%硅基薄膜%電緻髮光
    참려%규기박막%전치발광
    采用双离子束共溅射技术,通过对由Al,Si和SiO2组成的复合靶的溅射制备出掺铝的富硅二氧化硅复合薄膜(AlSiO).其中铝和硅在薄膜中的含量可通过改变靶面上铝和硅所占的表面积来调节.在所有的样品中,在可见光范围均观察到仅有一个位于510 nm的电致发光(EL)谱峰.实验结果表明,在一定的工艺条件下适量的掺铝可明显地改善EL的启动电压及发光强度.
    채용쌍리자속공천사기술,통과대유Al,Si화SiO2조성적복합파적천사제비출참려적부규이양화규복합박막(AlSiO).기중려화규재박막중적함량가통과개변파면상려화규소점적표면적래조절.재소유적양품중,재가견광범위균관찰도부유일개위우510 nm적전치발광(EL)보봉.실험결과표명,재일정적공예조건하괄량적참려가명현지개선EL적계동전압급발광강도.
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