机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2003年
6期
71-74
,共4页
田家万%韩增虎%赖倩茜%虞晓江%李戈扬
田傢萬%韓增虎%賴倩茜%虞曉江%李戈颺
전가만%한증호%뢰천천%우효강%리과양
两步压入法%薄膜%纳米多层膜%硬度%弹性模量
兩步壓入法%薄膜%納米多層膜%硬度%彈性模量
량보압입법%박막%납미다층막%경도%탄성모량
提出了采用力学探针测量薄膜力学性能的两步压入法.该方法通过大载荷压入展示基体变形对薄膜硬度的影响,从而选择不影响基体变形的小载荷测出薄膜的硬度和弹性模量.对高速钢基片上的TiN硬质薄膜,单晶硅片上的金属Ni薄膜和(Ti,Al)N/VN纳米多层膜的测量表明,两步压入法能够测出各种性质薄膜的力学性能,并且具有准确可靠的特点.此外,两步法对(Ti,Al)N/VN纳米多层膜的力学性能的测量表明,该体系的纳米多层膜存在硬度和弹性模量异常升高的超硬、超模量效应.
提齣瞭採用力學探針測量薄膜力學性能的兩步壓入法.該方法通過大載荷壓入展示基體變形對薄膜硬度的影響,從而選擇不影響基體變形的小載荷測齣薄膜的硬度和彈性模量.對高速鋼基片上的TiN硬質薄膜,單晶硅片上的金屬Ni薄膜和(Ti,Al)N/VN納米多層膜的測量錶明,兩步壓入法能夠測齣各種性質薄膜的力學性能,併且具有準確可靠的特點.此外,兩步法對(Ti,Al)N/VN納米多層膜的力學性能的測量錶明,該體繫的納米多層膜存在硬度和彈性模量異常升高的超硬、超模量效應.
제출료채용역학탐침측량박막역학성능적량보압입법.해방법통과대재하압입전시기체변형대박막경도적영향,종이선택불영향기체변형적소재하측출박막적경도화탄성모량.대고속강기편상적TiN경질박막,단정규편상적금속Ni박막화(Ti,Al)N/VN납미다층막적측량표명,량보압입법능구측출각충성질박막적역학성능,병차구유준학가고적특점.차외,량보법대(Ti,Al)N/VN납미다층막적역학성능적측량표명,해체계적납미다층막존재경도화탄성모량이상승고적초경、초모량효응.
