稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2005年
6期
810-813
,共4页
冯泉林%周旗钢%王敬%刘斌%刘佐星
馮泉林%週旂鋼%王敬%劉斌%劉佐星
풍천림%주기강%왕경%류빈%류좌성
硅抛光片%洁净区%氧沉淀%内吸杂%原子力显微镜%微粗糙度
硅拋光片%潔淨區%氧沉澱%內吸雜%原子力顯微鏡%微粗糙度
규포광편%길정구%양침정%내흡잡%원자력현미경%미조조도
快速退火(RTA)单晶硅片时,硅片内部会形成一种特殊的空位分布.空位的分布将决定后序两步退火(800℃,4h+1000℃,16h)后生成的洁净区宽度和氧沉淀密度.研究了N2气氛下,不同RTA恒温时间对洁净区形成和氧沉淀密度的影响.发现延长RTA恒温时间,会增加氧沉淀密度.使用原子探针显微镜(原子力显微镜)研究了RTA后表面形貌的变化.发现在N2气氛下RTA处理过的硅片,表面微粗糙度略有增加.
快速退火(RTA)單晶硅片時,硅片內部會形成一種特殊的空位分佈.空位的分佈將決定後序兩步退火(800℃,4h+1000℃,16h)後生成的潔淨區寬度和氧沉澱密度.研究瞭N2氣氛下,不同RTA恆溫時間對潔淨區形成和氧沉澱密度的影響.髮現延長RTA恆溫時間,會增加氧沉澱密度.使用原子探針顯微鏡(原子力顯微鏡)研究瞭RTA後錶麵形貌的變化.髮現在N2氣氛下RTA處理過的硅片,錶麵微粗糙度略有增加.
쾌속퇴화(RTA)단정규편시,규편내부회형성일충특수적공위분포.공위적분포장결정후서량보퇴화(800℃,4h+1000℃,16h)후생성적길정구관도화양침정밀도.연구료N2기분하,불동RTA항온시간대길정구형성화양침정밀도적영향.발현연장RTA항온시간,회증가양침정밀도.사용원자탐침현미경(원자력현미경)연구료RTA후표면형모적변화.발현재N2기분하RTA처리과적규편,표면미조조도략유증가.
