光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2008年
7期
1455-1458
,共4页
马臻%李英才%樊学武%陈荣利%段学霆
馬臻%李英纔%樊學武%陳榮利%段學霆
마진%리영재%번학무%진영리%단학정
非球面%定心%干涉检验%偏心彗差
非毬麵%定心%榦涉檢驗%偏心彗差
비구면%정심%간섭검험%편심혜차
由于非球面光轴的唯一性,非球面定心工艺中需分别定义顶点偏心误差和球心偏心误差.通过估算顶点偏心在传统定心仪上的测量误差,可以发现传统定心仪很难达到控制目的,而干涉测量方法却能得到较高的准确度.理论推导和模拟计算表明:顶点偏心角与偏心彗差之间有线性关系,顶点偏心角的彗差灵敏度与非球面的陡度成正比.使用干涉检测的方法可以同时控制非球面的两种偏心误差,且其检测准确度可以达到0.02 mm.
由于非毬麵光軸的唯一性,非毬麵定心工藝中需分彆定義頂點偏心誤差和毬心偏心誤差.通過估算頂點偏心在傳統定心儀上的測量誤差,可以髮現傳統定心儀很難達到控製目的,而榦涉測量方法卻能得到較高的準確度.理論推導和模擬計算錶明:頂點偏心角與偏心彗差之間有線性關繫,頂點偏心角的彗差靈敏度與非毬麵的陡度成正比.使用榦涉檢測的方法可以同時控製非毬麵的兩種偏心誤差,且其檢測準確度可以達到0.02 mm.
유우비구면광축적유일성,비구면정심공예중수분별정의정점편심오차화구심편심오차.통과고산정점편심재전통정심의상적측량오차,가이발현전통정심의흔난체도공제목적,이간섭측량방법각능득도교고적준학도.이론추도화모의계산표명:정점편심각여편심혜차지간유선성관계,정점편심각적혜차령민도여비구면적두도성정비.사용간섭검측적방법가이동시공제비구면적량충편심오차,차기검측준학도가이체도0.02 mm.
