半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2008年
8期
688-690
,共3页
曲蛟%贾利云%许佳玲%侯登录
麯蛟%賈利雲%許佳玲%侯登錄
곡교%가리운%허가령%후등록
稀磁半导体%磁性%CoTiO2薄膜
稀磁半導體%磁性%CoTiO2薄膜
희자반도체%자성%CoTiO2박막
为了研究在稀释磁性半导体CoTiO2薄膜中不同退火温度对薄膜结构和磁性的影响,通过磁控溅射方法和原位退火工艺制备了CoTiO2薄膜样品.然后利用扫描探针显微镜以及振动样品磁强计对所制得的薄膜样品磁性和微结构的变化进行了研究.研究发现,热处理温度对薄膜的微结构和磁性能有很大的影响.扫描探针显微镜对样品的微结构分析结果表明,在400 ℃时磁性相的分布比较均匀,Co掺杂到TiO2结构当中且没有Co颗粒或团簇;振动样品磁强计测量样品的磁性能结果显示该样品具有明显的室温铁磁性.
為瞭研究在稀釋磁性半導體CoTiO2薄膜中不同退火溫度對薄膜結構和磁性的影響,通過磁控濺射方法和原位退火工藝製備瞭CoTiO2薄膜樣品.然後利用掃描探針顯微鏡以及振動樣品磁彊計對所製得的薄膜樣品磁性和微結構的變化進行瞭研究.研究髮現,熱處理溫度對薄膜的微結構和磁性能有很大的影響.掃描探針顯微鏡對樣品的微結構分析結果錶明,在400 ℃時磁性相的分佈比較均勻,Co摻雜到TiO2結構噹中且沒有Co顆粒或糰簇;振動樣品磁彊計測量樣品的磁性能結果顯示該樣品具有明顯的室溫鐵磁性.
위료연구재희석자성반도체CoTiO2박막중불동퇴화온도대박막결구화자성적영향,통과자공천사방법화원위퇴화공예제비료CoTiO2박막양품.연후이용소묘탐침현미경이급진동양품자강계대소제득적박막양품자성화미결구적변화진행료연구.연구발현,열처리온도대박막적미결구화자성능유흔대적영향.소묘탐침현미경대양품적미결구분석결과표명,재400 ℃시자성상적분포비교균균,Co참잡도TiO2결구당중차몰유Co과립혹단족;진동양품자강계측량양품적자성능결과현시해양품구유명현적실온철자성.
