压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2004年
6期
482-484,490
,共4页
SiC%微电子机械系统(MEMS)%保护层%微结构层%应用
SiC%微電子機械繫統(MEMS)%保護層%微結構層%應用
SiC%미전자궤계계통(MEMS)%보호층%미결구층%응용
SiC材料具有极为优良的物理化学性能,以SiC材料替代传统Si材料制成的SiC微电子机械系统(MEMS),克服了Si MEMS本身性能的局限性,可满足在高温、高腐蚀等极端条件下的应用.文章综述了近几年SiC薄膜在MEMS中应用的研究进展,详细讨论了薄膜的性能、主要制备方法及微机械加工技术在SiC MEMS的应用.最后,分别举例说明SiC薄膜材料在MEMS中作为保护层和结构层应用的研究现状.
SiC材料具有極為優良的物理化學性能,以SiC材料替代傳統Si材料製成的SiC微電子機械繫統(MEMS),剋服瞭Si MEMS本身性能的跼限性,可滿足在高溫、高腐蝕等極耑條件下的應用.文章綜述瞭近幾年SiC薄膜在MEMS中應用的研究進展,詳細討論瞭薄膜的性能、主要製備方法及微機械加工技術在SiC MEMS的應用.最後,分彆舉例說明SiC薄膜材料在MEMS中作為保護層和結構層應用的研究現狀.
SiC재료구유겁위우량적물이화학성능,이SiC재료체대전통Si재료제성적SiC미전자궤계계통(MEMS),극복료Si MEMS본신성능적국한성,가만족재고온、고부식등겁단조건하적응용.문장종술료근궤년SiC박막재MEMS중응용적연구진전,상세토론료박막적성능、주요제비방법급미궤계가공기술재SiC MEMS적응용.최후,분별거례설명SiC박막재료재MEMS중작위보호층화결구층응용적연구현상.
