真空
真空
진공
VACUUM
2009年
3期
18-22
,共5页
吴忠振%朱宗涛%巩春志%田修波%杨士勤%李希平
吳忠振%硃宗濤%鞏春誌%田脩波%楊士勤%李希平
오충진%주종도%공춘지%전수파%양사근%리희평
高功率脉冲磁控溅射%离化率%离子能量分布函数%薄膜性能
高功率脈遲磁控濺射%離化率%離子能量分佈函數%薄膜性能
고공솔맥충자공천사%리화솔%리자능량분포함수%박막성능
高功率脉冲磁控溅射技术(HPPMS)作为一种溅射粒子离化率高、可以沉积致密、高性能薄膜的新技术已经在国外广泛研究,但在国内尚未见研究报道.本文介绍了近十年来HPPMS技术在电源、脉冲形式、放电行为和薄膜沉积等方面的研究进展.在HPPMS过程中,粒子随脉冲开关通过电子冲击和电荷交换电离,并按照双极扩散理论向基体附近传输,离子能量分布随工作气压的不同而呈现不同的分布特征.这些放电特征有利于获得更宽的工艺范围和优异的膜层性能,最后介绍了我们实验室在HPPMS方面的研究工作.
高功率脈遲磁控濺射技術(HPPMS)作為一種濺射粒子離化率高、可以沉積緻密、高性能薄膜的新技術已經在國外廣汎研究,但在國內尚未見研究報道.本文介紹瞭近十年來HPPMS技術在電源、脈遲形式、放電行為和薄膜沉積等方麵的研究進展.在HPPMS過程中,粒子隨脈遲開關通過電子遲擊和電荷交換電離,併按照雙極擴散理論嚮基體附近傳輸,離子能量分佈隨工作氣壓的不同而呈現不同的分佈特徵.這些放電特徵有利于穫得更寬的工藝範圍和優異的膜層性能,最後介紹瞭我們實驗室在HPPMS方麵的研究工作.
고공솔맥충자공천사기술(HPPMS)작위일충천사입자리화솔고、가이침적치밀、고성능박막적신기술이경재국외엄범연구,단재국내상미견연구보도.본문개소료근십년래HPPMS기술재전원、맥충형식、방전행위화박막침적등방면적연구진전.재HPPMS과정중,입자수맥충개관통과전자충격화전하교환전리,병안조쌍겁확산이론향기체부근전수,리자능량분포수공작기압적불동이정현불동적분포특정.저사방전특정유리우획득경관적공예범위화우이적막층성능,최후개소료아문실험실재HPPMS방면적연구공작.
