机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2010年
18期
13-17
,共5页
唐一科%郑富中%周兆英%杨兴%吴英
唐一科%鄭富中%週兆英%楊興%吳英
당일과%정부중%주조영%양흥%오영
化学气相沉积%悬空单壁碳纳米管阵列%应变传感%微纳传感器件
化學氣相沉積%懸空單壁碳納米管陣列%應變傳感%微納傳感器件
화학기상침적%현공단벽탄납미관진렬%응변전감%미납전감기건
利用传统的硅微加工技术,在硅片上制作出平行的微电极对,然后对硅片进行深刻蚀穿通,在微电极对之间获得长方形的贯通缝.接着利用大气流定向式的化学气相沉积方法在带有贯通缝与微电极的硅片上生长出超长单壁碳纳米管阵列,使单壁碳纳米管阵列较整齐地悬于平行电极对之间,待将生长有纳米管的硅片粘在聚氯乙稀薄板上之后,再用激光技术切除掉贯通缝的连接部分,使作用于聚氯乙稀薄板上的力能够直接传递到单壁碳纳米管阵列.引出导线,完成此微纳力敏传感器件的制作.随后主要开展悬空单壁碳纳米管阵列应变传感方面的研究,获得了较高的压阻因子与线性度.结果表明这种制作方法具有过程简单、成本低等特点,为基于碳纳米管的微纳传感器件的制作提供新的思路.
利用傳統的硅微加工技術,在硅片上製作齣平行的微電極對,然後對硅片進行深刻蝕穿通,在微電極對之間穫得長方形的貫通縫.接著利用大氣流定嚮式的化學氣相沉積方法在帶有貫通縫與微電極的硅片上生長齣超長單壁碳納米管陣列,使單壁碳納米管陣列較整齊地懸于平行電極對之間,待將生長有納米管的硅片粘在聚氯乙稀薄闆上之後,再用激光技術切除掉貫通縫的連接部分,使作用于聚氯乙稀薄闆上的力能夠直接傳遞到單壁碳納米管陣列.引齣導線,完成此微納力敏傳感器件的製作.隨後主要開展懸空單壁碳納米管陣列應變傳感方麵的研究,穫得瞭較高的壓阻因子與線性度.結果錶明這種製作方法具有過程簡單、成本低等特點,為基于碳納米管的微納傳感器件的製作提供新的思路.
이용전통적규미가공기술,재규편상제작출평행적미전겁대,연후대규편진행심각식천통,재미전겁대지간획득장방형적관통봉.접착이용대기류정향식적화학기상침적방법재대유관통봉여미전겁적규편상생장출초장단벽탄납미관진렬,사단벽탄납미관진렬교정제지현우평행전겁대지간,대장생장유납미관적규편점재취록을희박판상지후,재용격광기술절제도관통봉적련접부분,사작용우취록을희박판상적력능구직접전체도단벽탄납미관진렬.인출도선,완성차미납력민전감기건적제작.수후주요개전현공단벽탄납미관진렬응변전감방면적연구,획득료교고적압조인자여선성도.결과표명저충제작방법구유과정간단、성본저등특점,위기우탄납미관적미납전감기건적제작제공신적사로.
