电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2011年
9期
76-81
,共6页
潘武%宋茂叶%吴文雯%张雪莲
潘武%宋茂葉%吳文雯%張雪蓮
반무%송무협%오문문%장설련
射频微机电系统%微机械谐振器%综述%微机械滤波器
射頻微機電繫統%微機械諧振器%綜述%微機械濾波器
사빈미궤전계통%미궤계해진기%종술%미궤계려파기
介绍了基于梳状、梁式、圆盘三种结构的射频微机电系统( RF-MEMS)谐振器及滤波器,并对RF-MEMS谐振器及滤波器的结构与性能参数进行讨论；分析RF-MEMS谐振器及滤波器设计和制造中的有关问题及其处理方法;RF-MEMS谐振器及滤波器性能优异,能与其他器件实现片上集成,且与集成电路工艺兼容,在射频无线通信系统中的应用有着良好前景.
介紹瞭基于梳狀、樑式、圓盤三種結構的射頻微機電繫統( RF-MEMS)諧振器及濾波器,併對RF-MEMS諧振器及濾波器的結構與性能參數進行討論；分析RF-MEMS諧振器及濾波器設計和製造中的有關問題及其處理方法;RF-MEMS諧振器及濾波器性能優異,能與其他器件實現片上集成,且與集成電路工藝兼容,在射頻無線通信繫統中的應用有著良好前景.
개소료기우소상、량식、원반삼충결구적사빈미궤전계통( RF-MEMS)해진기급려파기,병대RF-MEMS해진기급려파기적결구여성능삼수진행토론；분석RF-MEMS해진기급려파기설계화제조중적유관문제급기처리방법;RF-MEMS해진기급려파기성능우이,능여기타기건실현편상집성,차여집성전로공예겸용,재사빈무선통신계통중적응용유착량호전경.
