西安工业大学学报
西安工業大學學報
서안공업대학학보
JOURNAL OF XI'AN TECHNOLOGICAL UNIVERSITY
2011年
4期
349-351,359
,共4页
磁控溅射%Zn1-x LixO薄膜%光致发光%紫外峰
磁控濺射%Zn1-x LixO薄膜%光緻髮光%紫外峰
자공천사%Zn1-x LixO박막%광치발광%자외봉
为研究碱金属Li掺杂ZnO薄膜的结构及光学性能,利用射频磁控溅射法(RF)在Si基片上制备ZnO薄膜和Zn1-xLixO薄膜,通过X射线衍射、原子力显微镜和光致发光对薄膜进行测试.研究结果表明:基片温度为450℃时,(002)峰成为薄膜的主要衍射峰;掺入碱金属Li后,薄膜表面颗粒依然均匀;Li掺杂量在5％～15％变化时,带间跃迁峰发生明显红移现象,各发光峰的强度呈抛物线形式变化.
為研究堿金屬Li摻雜ZnO薄膜的結構及光學性能,利用射頻磁控濺射法(RF)在Si基片上製備ZnO薄膜和Zn1-xLixO薄膜,通過X射線衍射、原子力顯微鏡和光緻髮光對薄膜進行測試.研究結果錶明:基片溫度為450℃時,(002)峰成為薄膜的主要衍射峰;摻入堿金屬Li後,薄膜錶麵顆粒依然均勻;Li摻雜量在5％～15％變化時,帶間躍遷峰髮生明顯紅移現象,各髮光峰的彊度呈拋物線形式變化.
위연구감금속Li참잡ZnO박막적결구급광학성능,이용사빈자공천사법(RF)재Si기편상제비ZnO박막화Zn1-xLixO박막,통과X사선연사、원자력현미경화광치발광대박막진행측시.연구결과표명:기편온도위450℃시,(002)봉성위박막적주요연사봉;참입감금속Li후,박막표면과립의연균균;Li참잡량재5％～15％변화시,대간약천봉발생명현홍이현상,각발광봉적강도정포물선형식변화.
