工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2011年
12期
39-43
,共5页
宿福利%高见%李洪林%李祝%宋之敏
宿福利%高見%李洪林%李祝%宋之敏
숙복리%고견%리홍림%리축%송지민
TiN/TiSiN复合涂层%微观结构%力学性能
TiN/TiSiN複閤塗層%微觀結構%力學性能
TiN/TiSiN복합도층%미관결구%역학성능
采用工业用直流脉冲等离子体增强化学气相沉积(PCVD)法在硬质合金刀具基体上制备了TiN和TiN/TiSiN复合涂层.对TiN涂层和不同沉积温度下制备的三种TiN/TiSiN复合涂层的微观结构和力学性能进行了对比研究.结果表明:随着沉积温度的升高,TiN/TiSiN复合涂层的结合力增大；沉积温度为550℃时,TiN/TiSiN复合涂层的硬度和耐磨性能优于其他两种TiN/TiSiN复合涂层；复合涂层的显微硬度和耐磨性能均高于单一TiN涂层.
採用工業用直流脈遲等離子體增彊化學氣相沉積(PCVD)法在硬質閤金刀具基體上製備瞭TiN和TiN/TiSiN複閤塗層.對TiN塗層和不同沉積溫度下製備的三種TiN/TiSiN複閤塗層的微觀結構和力學性能進行瞭對比研究.結果錶明:隨著沉積溫度的升高,TiN/TiSiN複閤塗層的結閤力增大；沉積溫度為550℃時,TiN/TiSiN複閤塗層的硬度和耐磨性能優于其他兩種TiN/TiSiN複閤塗層；複閤塗層的顯微硬度和耐磨性能均高于單一TiN塗層.
채용공업용직류맥충등리자체증강화학기상침적(PCVD)법재경질합금도구기체상제비료TiN화TiN/TiSiN복합도층.대TiN도층화불동침적온도하제비적삼충TiN/TiSiN복합도층적미관결구화역학성능진행료대비연구.결과표명:수착침적온도적승고,TiN/TiSiN복합도층적결합력증대；침적온도위550℃시,TiN/TiSiN복합도층적경도화내마성능우우기타량충TiN/TiSiN복합도층；복합도층적현미경도화내마성능균고우단일TiN도층.
