广东石油化工学院学报
廣東石油化工學院學報
엄동석유화공학원학보
JOURNAL OF MAOMING COLLEGE
2011年
4期
28-30
,共3页
铝掺杂氧化锌%脉冲直流%薄膜太阳能电池
鋁摻雜氧化鋅%脈遲直流%薄膜太暘能電池
려참잡양화자%맥충직류%박막태양능전지
AZO%DC pulse magnetron sputtering%amorphous silicon thin film solar cell
采用直流脉冲磁控溅射方法在非晶硅薄膜上制备AZO背反电极，比较不同制备参数对透过率及效率的影响。采用优化参数，得到效率增加了0．8％的非晶硅薄膜电池。根据实验结果，证明背反电极增反机理不是薄膜干涉增强原理，而是因为界面共振吸收减少，而导致光的吸收增强的机理。
採用直流脈遲磁控濺射方法在非晶硅薄膜上製備AZO揹反電極，比較不同製備參數對透過率及效率的影響。採用優化參數，得到效率增加瞭0．8％的非晶硅薄膜電池。根據實驗結果，證明揹反電極增反機理不是薄膜榦涉增彊原理，而是因為界麵共振吸收減少，而導緻光的吸收增彊的機理。
채용직류맥충자공천사방법재비정규박막상제비AZO배반전겁，비교불동제비삼수대투과솔급효솔적영향。채용우화삼수，득도효솔증가료0．8％적비정규박막전지。근거실험결과，증명배반전겁증반궤리불시박막간섭증강원리，이시인위계면공진흡수감소，이도치광적흡수증강적궤리。
The AZO back reflector was prepared by DC pulse magnetron sputtering method, by comparing with different fabrication parameters to find the influence to transmittance and conversion efficiency. With optimized parameters, the efficiency of the amorphous silicon solar cell increased by 0.8 %. The back reflector mechanism is proved not to be the film interference theory but the interface resonance absorption, in which the light absorption is enhanced when the back reflector is applied.
