强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
1期
79-83
,共5页
王璠璟%肖文%潘锋%寇鑫%张菁%李建毅
王璠璟%肖文%潘鋒%寇鑫%張菁%李建毅
왕번경%초문%반봉%구흠%장정%리건의
数字全息%光学元件%最小二乘法%曲率半径%表面疵病
數字全息%光學元件%最小二乘法%麯率半徑%錶麵疵病
수자전식%광학원건%최소이승법%곡솔반경%표면자병
针对球形光学元件的表面质量检测,开发了一种基于数字全息的表面曲率参数及疵病的同步检测方法.利用最小二乘法对再现波前进行参数拟合和计算,解决了再现过程中倾斜因子补偿对测量可靠性造成的影响.通过将原始数据与生成的虚拟曲面相减实现了表面疵病信息的同步提取.实验证明,该方法的测量结果与白光干涉仪的测量差异小于1.5％,在不同倾斜因子补偿系数作用下的测量结果误差小于1％.
針對毬形光學元件的錶麵質量檢測,開髮瞭一種基于數字全息的錶麵麯率參數及疵病的同步檢測方法.利用最小二乘法對再現波前進行參數擬閤和計算,解決瞭再現過程中傾斜因子補償對測量可靠性造成的影響.通過將原始數據與生成的虛擬麯麵相減實現瞭錶麵疵病信息的同步提取.實驗證明,該方法的測量結果與白光榦涉儀的測量差異小于1.5％,在不同傾斜因子補償繫數作用下的測量結果誤差小于1％.
침대구형광학원건적표면질량검측,개발료일충기우수자전식적표면곡솔삼수급자병적동보검측방법.이용최소이승법대재현파전진행삼수의합화계산,해결료재현과정중경사인자보상대측량가고성조성적영향.통과장원시수거여생성적허의곡면상감실현료표면자병신식적동보제취.실험증명,해방법적측량결과여백광간섭의적측량차이소우1.5％,재불동경사인자보상계수작용하적측량결과오차소우1％.
