动力学与控制学报
動力學與控製學報
동역학여공제학보
JOURNAL OF DYNAMICS AND CONTROL
2004年
1期
70-74
,共5页
高行山%赵亚溥%吕胜利%邓子辰
高行山%趙亞溥%呂勝利%鄧子辰
고행산%조아부%려성리%산자신
微电子机械系统%能量场耦合%计算机辅助设计
微電子機械繫統%能量場耦閤%計算機輔助設計
미전자궤계계통%능량장우합%계산궤보조설계
在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中,微系统数值仿真分析是一个重要研究领域.本文对MEMS中多种能量场耦合问题的各种数值仿真分析方法进行了综合评述.分析了该领域目前的研究现状并指出了其今后的发展方向.
在微電子機械繫統(MEMS)研究和設計中,微繫統數值倣真分析是一箇重要研究領域.本文對MEMS中多種能量場耦閤問題的各種數值倣真分析方法進行瞭綜閤評述.分析瞭該領域目前的研究現狀併指齣瞭其今後的髮展方嚮.
재미전자궤계계통(MEMS)연구화설계중,미계통수치방진분석시일개중요연구영역.본문대MEMS중다충능량장우합문제적각충수치방진분석방법진행료종합평술.분석료해영역목전적연구현상병지출료기금후적발전방향.
