北京机械工业学院学报（综合版）
北京機械工業學院學報（綜閤版）
북경궤계공업학원학보（종합판）
JOURNAL OF BEIJING INSTITUTE OF MACHINERY
2006年
4期
20-25
,共6页
明亮%汪银年%王家光%张福学
明亮%汪銀年%王傢光%張福學
명량%왕은년%왕가광%장복학
硅微机械陀螺%差动电容%频率特性
硅微機械陀螺%差動電容%頻率特性
규미궤계타라%차동전용%빈솔특성
微弱输出信号的检测是微机械陀螺接口电路设计中的关键技术.针对旋转载体驱动硅微机械陀螺的振动特性,给出了一种适用于微弱电容变化量的小信号检测电路.信号经过差分放大之后,设计了一种适合该陀螺特点的带通滤波器,并对该电路的幅频特性和相频特性进行了分析.实验结果表明,该电路能有效敏感电容变化量,陀螺接口电路能检测到10-3pF量级的电容变化,最小分辨率可以达到0.1°/s.
微弱輸齣信號的檢測是微機械陀螺接口電路設計中的關鍵技術.針對鏇轉載體驅動硅微機械陀螺的振動特性,給齣瞭一種適用于微弱電容變化量的小信號檢測電路.信號經過差分放大之後,設計瞭一種適閤該陀螺特點的帶通濾波器,併對該電路的幅頻特性和相頻特性進行瞭分析.實驗結果錶明,該電路能有效敏感電容變化量,陀螺接口電路能檢測到10-3pF量級的電容變化,最小分辨率可以達到0.1°/s.
미약수출신호적검측시미궤계타라접구전로설계중적관건기술.침대선전재체구동규미궤계타라적진동특성,급출료일충괄용우미약전용변화량적소신호검측전로.신호경과차분방대지후,설계료일충괄합해타라특점적대통려파기,병대해전로적폭빈특성화상빈특성진행료분석.실험결과표명,해전로능유효민감전용변화량,타라접구전로능검측도10-3pF량급적전용변화,최소분변솔가이체도0.1°/s.
