原子能科学技术
原子能科學技術
원자능과학기술
ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
z1期
200-203
,共4页
28Si%同位素%丰度%分离
28Si%同位素%豐度%分離
28Si%동위소%봉도%분리
文章对28Si同位素的应用背景进行概述,并介绍分离28Si同位素的几种具体方法和国内外的分离研究现状,认为同位素纯28Si材料将会在未来的高级微电子芯片等领域中获得很好的发展.
文章對28Si同位素的應用揹景進行概述,併介紹分離28Si同位素的幾種具體方法和國內外的分離研究現狀,認為同位素純28Si材料將會在未來的高級微電子芯片等領域中穫得很好的髮展.
문장대28Si동위소적응용배경진행개술,병개소분리28Si동위소적궤충구체방법화국내외적분리연구현상,인위동위소순28Si재료장회재미래적고급미전자심편등영역중획득흔호적발전.