半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2007年
3期
238-240
,共3页
光罩可制造性规则检查%光罩缺陷检测%版图
光罩可製造性規則檢查%光罩缺陷檢測%版圖
광조가제조성규칙검사%광조결함검측%판도
介绍了一种较为先进的光罩可制造性规则检查的方法及其系统构成.实验结果表明,通过整合各种EDA工具,在光罩检验前就可发现这些可能给光罩检验造成困难的图形,为后续光罩检验步骤提供参考,显著提高了光罩检验的效率.
介紹瞭一種較為先進的光罩可製造性規則檢查的方法及其繫統構成.實驗結果錶明,通過整閤各種EDA工具,在光罩檢驗前就可髮現這些可能給光罩檢驗造成睏難的圖形,為後續光罩檢驗步驟提供參攷,顯著提高瞭光罩檢驗的效率.
개소료일충교위선진적광조가제조성규칙검사적방법급기계통구성.실험결과표명,통과정합각충EDA공구,재광조검험전취가발현저사가능급광조검험조성곤난적도형,위후속광조검험보취제공삼고,현저제고료광조검험적효솔.
