电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2008年
5期
14-17,34
,共5页
高超群%李全宝%刘茂哲%景玉鹏
高超群%李全寶%劉茂哲%景玉鵬
고초군%리전보%류무철%경옥붕
表面张力%超临界二氧化碳%清洗和干燥%牺牲层释放
錶麵張力%超臨界二氧化碳%清洗和榦燥%犧牲層釋放
표면장력%초림계이양화탄%청세화간조%희생층석방
传统半导体清洗技术无法对硅片上的微小器件间的缝隙和线条进行有效清洗,以超临界二氧化碳为媒体的清洗技术则可克服上述缺点.超临界二氧化碳具有零表面张力、低黏度、强扩散能力和溶解能力等特性,并且无毒无臭、可以循环使用,在下一代半导体清洗和清洗后的干燥过程中有极强的应用前景.提出了一种绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备,它可实现超流体清洗和超临界干燥,二氧化碳循环使用,属于新型高效的下一代绿色半导体清洗设备.
傳統半導體清洗技術無法對硅片上的微小器件間的縫隙和線條進行有效清洗,以超臨界二氧化碳為媒體的清洗技術則可剋服上述缺點.超臨界二氧化碳具有零錶麵張力、低黏度、彊擴散能力和溶解能力等特性,併且無毒無臭、可以循環使用,在下一代半導體清洗和清洗後的榦燥過程中有極彊的應用前景.提齣瞭一種綠色二氧化碳超流體半導體清洗設備,它可實現超流體清洗和超臨界榦燥,二氧化碳循環使用,屬于新型高效的下一代綠色半導體清洗設備.
전통반도체청세기술무법대규편상적미소기건간적봉극화선조진행유효청세,이초림계이양화탄위매체적청세기술칙가극복상술결점.초림계이양화탄구유령표면장력、저점도、강확산능력화용해능력등특성,병차무독무취、가이순배사용,재하일대반도체청세화청세후적간조과정중유겁강적응용전경.제출료일충록색이양화탄초류체반도체청세설비,타가실현초류체청세화초림계간조,이양화탄순배사용,속우신형고효적하일대록색반도체청세설비.
