纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2009年
1期
5-9
,共5页
陆学斌%刘晓为%揣荣岩%施长治
陸學斌%劉曉為%揣榮巖%施長治
륙학빈%류효위%췌영암%시장치
多晶硅纳米薄膜%应变系数%线性度%掺杂浓度%隧道压阻理论
多晶硅納米薄膜%應變繫數%線性度%摻雜濃度%隧道壓阻理論
다정규납미박막%응변계수%선성도%참잡농도%수도압조이론
利用低压化学气相沉积(LPCVD)技术制备了不同掺杂浓度的多晶硅纳米薄膜,并对样品的压阻特性进行了测试.采用最小二乘法对实验数据进行拟合,得到了应变系数及其线性度与掺杂浓度的关系.实验结果表明:掺杂浓度从8.1×1018cm3变化至7.1×1020 cm-3,多晶硅纳米薄膜的纵向和横向应变系数先增加再减小,最后基本不再随掺杂浓度而变化,且纵向应变系数大于横向应变系数;掺杂浓度低于4.1×1019cm-3时,应变系数的非线性较大,且随掺杂浓度的升高而迅速减小;掺杂浓度高于4.1×1019cm-3时,应变系数的非线性较小并出现波动现象,同时纵向应变系数的非线性小于横向应变系数的非线性.利用隧道压阻理论对实验结果进行了分析.结合以前的研究结果可知,适合传感器制作的多晶硅纳米薄膜的优化掺杂浓度应为(2.0～4.1)×1020 cm-3,为进一步利用多晶硅纳米薄膜制作传感器提供了非常有价值的参考信息.
利用低壓化學氣相沉積(LPCVD)技術製備瞭不同摻雜濃度的多晶硅納米薄膜,併對樣品的壓阻特性進行瞭測試.採用最小二乘法對實驗數據進行擬閤,得到瞭應變繫數及其線性度與摻雜濃度的關繫.實驗結果錶明:摻雜濃度從8.1×1018cm3變化至7.1×1020 cm-3,多晶硅納米薄膜的縱嚮和橫嚮應變繫數先增加再減小,最後基本不再隨摻雜濃度而變化,且縱嚮應變繫數大于橫嚮應變繫數;摻雜濃度低于4.1×1019cm-3時,應變繫數的非線性較大,且隨摻雜濃度的升高而迅速減小;摻雜濃度高于4.1×1019cm-3時,應變繫數的非線性較小併齣現波動現象,同時縱嚮應變繫數的非線性小于橫嚮應變繫數的非線性.利用隧道壓阻理論對實驗結果進行瞭分析.結閤以前的研究結果可知,適閤傳感器製作的多晶硅納米薄膜的優化摻雜濃度應為(2.0～4.1)×1020 cm-3,為進一步利用多晶硅納米薄膜製作傳感器提供瞭非常有價值的參攷信息.
이용저압화학기상침적(LPCVD)기술제비료불동참잡농도적다정규납미박막,병대양품적압조특성진행료측시.채용최소이승법대실험수거진행의합,득도료응변계수급기선성도여참잡농도적관계.실험결과표명:참잡농도종8.1×1018cm3변화지7.1×1020 cm-3,다정규납미박막적종향화횡향응변계수선증가재감소,최후기본불재수참잡농도이변화,차종향응변계수대우횡향응변계수;참잡농도저우4.1×1019cm-3시,응변계수적비선성교대,차수참잡농도적승고이신속감소;참잡농도고우4.1×1019cm-3시,응변계수적비선성교소병출현파동현상,동시종향응변계수적비선성소우횡향응변계수적비선성.이용수도압조이론대실험결과진행료분석.결합이전적연구결과가지,괄합전감기제작적다정규납미박막적우화참잡농도응위(2.0～4.1)×1020 cm-3,위진일보이용다정규납미박막제작전감기제공료비상유개치적삼고신식.
