表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2009年
3期
41-43,60
,共4页
类金刚石%射频等离子体%化学气相淀积%X射线光电子能谱
類金剛石%射頻等離子體%化學氣相澱積%X射線光電子能譜
류금강석%사빈등리자체%화학기상정적%X사선광전자능보
为了得到类金刚石薄膜的性质和制备参数之间的对应关系,利用射频等离子体增强化学气相淀积在单晶硅的(100)面上制备了类金刚石薄膜,反应气体是甲烷和氢气的混合气.研究了射频源的输入功率对类金刚石薄膜性能的影响.采用Raman光谱、X射线光电子能谱、原子力显微镜和纳米压痕仪对薄膜的微观结构、表面形貌、硬度和弹性模量进行了研究,结果表明:制备的薄膜具有典型的不定型碳的结构特征、薄膜致密均匀,随着入射功率的提高,薄膜的sp3含量、硬度以及弹性模量先增加后减小,并且在100W时达到最大值,在400W时薄膜出现碳化.
為瞭得到類金剛石薄膜的性質和製備參數之間的對應關繫,利用射頻等離子體增彊化學氣相澱積在單晶硅的(100)麵上製備瞭類金剛石薄膜,反應氣體是甲烷和氫氣的混閤氣.研究瞭射頻源的輸入功率對類金剛石薄膜性能的影響.採用Raman光譜、X射線光電子能譜、原子力顯微鏡和納米壓痕儀對薄膜的微觀結構、錶麵形貌、硬度和彈性模量進行瞭研究,結果錶明:製備的薄膜具有典型的不定型碳的結構特徵、薄膜緻密均勻,隨著入射功率的提高,薄膜的sp3含量、硬度以及彈性模量先增加後減小,併且在100W時達到最大值,在400W時薄膜齣現碳化.
위료득도류금강석박막적성질화제비삼수지간적대응관계,이용사빈등리자체증강화학기상정적재단정규적(100)면상제비료류금강석박막,반응기체시갑완화경기적혼합기.연구료사빈원적수입공솔대류금강석박막성능적영향.채용Raman광보、X사선광전자능보、원자력현미경화납미압흔의대박막적미관결구、표면형모、경도화탄성모량진행료연구,결과표명:제비적박막구유전형적불정형탄적결구특정、박막치밀균균,수착입사공솔적제고,박막적sp3함량、경도이급탄성모량선증가후감소,병차재100W시체도최대치,재400W시박막출현탄화.
