中国光学与应用光学
中國光學與應用光學
중국광학여응용광학
CHINESE JOURNAL OF OPTICS AND APPLIED OPTICS
2009年
3期
258-262
,共5页
辉光放电%均匀场电极%电极剖面%TEA CO2激光器
輝光放電%均勻場電極%電極剖麵%TEA CO2激光器
휘광방전%균균장전겁%전겁부면%TEA CO2격광기
介绍了TEA CO2激光器大面积均匀场放电电极的设计以及实验结果.无限大平行平板电极两极间的电场分布是均匀的,要在有限的(电极)尺寸条件下实现电场的均匀性设计,即将设计问题转变为放电电极剖面形状的理论和工程计算问题.本文根据TEA CO2激光器工作的实际情况,选择Chang氏理论作依据设计了均匀场放电电极.实验结果表明,使用该电极TEA CO2激光器可在500 Hz高重复频率脉冲条件下连续工作10 min,并在55 mm放电电极宽和平坦部分为40 mm剖面的平行平板两个主放电极之间实现了大面积稳定的均匀场辉光放电,解决了主放电电极大面积放电易产生弧光放电影响TEA CO2激光器长期稳定工作的问题.
介紹瞭TEA CO2激光器大麵積均勻場放電電極的設計以及實驗結果.無限大平行平闆電極兩極間的電場分佈是均勻的,要在有限的(電極)呎吋條件下實現電場的均勻性設計,即將設計問題轉變為放電電極剖麵形狀的理論和工程計算問題.本文根據TEA CO2激光器工作的實際情況,選擇Chang氏理論作依據設計瞭均勻場放電電極.實驗結果錶明,使用該電極TEA CO2激光器可在500 Hz高重複頻率脈遲條件下連續工作10 min,併在55 mm放電電極寬和平坦部分為40 mm剖麵的平行平闆兩箇主放電極之間實現瞭大麵積穩定的均勻場輝光放電,解決瞭主放電電極大麵積放電易產生弧光放電影響TEA CO2激光器長期穩定工作的問題.
개소료TEA CO2격광기대면적균균장방전전겁적설계이급실험결과.무한대평행평판전겁량겁간적전장분포시균균적,요재유한적(전겁)척촌조건하실현전장적균균성설계,즉장설계문제전변위방전전겁부면형상적이론화공정계산문제.본문근거TEA CO2격광기공작적실제정황,선택Chang씨이론작의거설계료균균장방전전겁.실험결과표명,사용해전겁TEA CO2격광기가재500 Hz고중복빈솔맥충조건하련속공작10 min,병재55 mm방전전겁관화평탄부분위40 mm부면적평행평판량개주방전겁지간실현료대면적은정적균균장휘광방전,해결료주방전전겁대면적방전역산생호광방전영향TEA CO2격광기장기은정공작적문제.
