半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2010年
7期
676-679
,共4页
杨兵初%伍益%周聪华%熊健%左舜贵
楊兵初%伍益%週聰華%熊健%左舜貴
양병초%오익%주총화%웅건%좌순귀
直流磁控溅射%W/TiO2薄膜%透明电极%光电转换效率
直流磁控濺射%W/TiO2薄膜%透明電極%光電轉換效率
직류자공천사%W/TiO2박막%투명전겁%광전전환효솔
用双靶直流磁控共溅射方法在FTO透明导电玻璃上沉积掺W的TiO2薄膜.采用原子力显微镜、喇曼光谱仪和透射光谱仪对其表面形貌、晶体结构及光学性能进行了分析.研究发现适量的掺w有利于改善TiO2薄膜的表面结构,并有利于提高染料敏化电池的短路电流;但过量的掺w减弱了锐钛矿相,TiO2薄膜转变为金红石相结构;适量W掺杂TiO2薄膜经敏化组装的太阳能电池,有利于提高其短路电流及光电能量转换效率,不利于提高其开路电压.
用雙靶直流磁控共濺射方法在FTO透明導電玻璃上沉積摻W的TiO2薄膜.採用原子力顯微鏡、喇曼光譜儀和透射光譜儀對其錶麵形貌、晶體結構及光學性能進行瞭分析.研究髮現適量的摻w有利于改善TiO2薄膜的錶麵結構,併有利于提高染料敏化電池的短路電流;但過量的摻w減弱瞭銳鈦礦相,TiO2薄膜轉變為金紅石相結構;適量W摻雜TiO2薄膜經敏化組裝的太暘能電池,有利于提高其短路電流及光電能量轉換效率,不利于提高其開路電壓.
용쌍파직류자공공천사방법재FTO투명도전파리상침적참W적TiO2박막.채용원자력현미경、나만광보의화투사광보의대기표면형모、정체결구급광학성능진행료분석.연구발현괄량적참w유리우개선TiO2박막적표면결구,병유리우제고염료민화전지적단로전류;단과량적참w감약료예태광상,TiO2박막전변위금홍석상결구;괄량W참잡TiO2박막경민화조장적태양능전지,유리우제고기단로전류급광전능량전환효솔,불리우제고기개로전압.
