传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
11期
89-91,95
,共4页
杨丹琼%陈志龙%徐静%钟少龙%李四华%吴亚明
楊丹瓊%陳誌龍%徐靜%鐘少龍%李四華%吳亞明
양단경%진지룡%서정%종소룡%리사화%오아명
加速度计%热机械噪声%体硅工艺%梳齿电容%滑膜阻尼
加速度計%熱機械譟聲%體硅工藝%梳齒電容%滑膜阻尼
가속도계%열궤계조성%체규공예%소치전용%활막조니
介绍了一种能够在大气条件下具备低噪声、高灵敏度特性的MEMS加速度计设计、制作与测试.器件采用梳齿电容检测方法,利用MEMS体硅加工工艺,实现了210对梳齿的加速度计制作.该加速度计不需要真空封装和阻尼孔就能实现低热机械噪声特性,其理论热机械噪声为0.018μg/√Hz.加速度计芯片在大气封装和无阻尼孔情况下Q值高达455.06,与理论分析结果相符,具有较低的热机械噪声.
介紹瞭一種能夠在大氣條件下具備低譟聲、高靈敏度特性的MEMS加速度計設計、製作與測試.器件採用梳齒電容檢測方法,利用MEMS體硅加工工藝,實現瞭210對梳齒的加速度計製作.該加速度計不需要真空封裝和阻尼孔就能實現低熱機械譟聲特性,其理論熱機械譟聲為0.018μg/√Hz.加速度計芯片在大氣封裝和無阻尼孔情況下Q值高達455.06,與理論分析結果相符,具有較低的熱機械譟聲.
개소료일충능구재대기조건하구비저조성、고령민도특성적MEMS가속도계설계、제작여측시.기건채용소치전용검측방법,이용MEMS체규가공공예,실현료210대소치적가속도계제작.해가속도계불수요진공봉장화조니공취능실현저열궤계조성특성,기이론열궤계조성위0.018μg/√Hz.가속도계심편재대기봉장화무조니공정황하Q치고체455.06,여이론분석결과상부,구유교저적열궤계조성.
