微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
12期
773-776,781
,共5页
黎朝晖%丁冬雁%宁聪琴%刘和刚
黎朝暉%丁鼕雁%寧聰琴%劉和剛
려조휘%정동안%저총금%류화강
Ti-Al-V%阳极氧化%纳米阵列%热处理%氢传感器
Ti-Al-V%暘極氧化%納米陣列%熱處理%氫傳感器
Ti-Al-V%양겁양화%납미진렬%열처리%경전감기
在醇基介质中采用阳极氧化方法成功在Ti6Al4V合金表面制备出大面积的α和β相均为纳米管结构阵列.通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱仪(EDXA)对纳米管阵列的表面形貌、微结构和热稳定性进行了表征.实验结果表明:在醇基溶液中采用阳极氧化方法制备大面积纳米管阵列时,外加电压的增加有利于合金表面多孔纳米结构的形成.在外加电压为30 V时,Ti6Al4V合金表面的双相区均获得较为均匀的纳米管阵列.Ti-Al-V-O纳米管阵列管长约900 nm、管径约90 nm、壁厚约7.4 nm.EDXA结果表明:在阳极氧化后,表面Al和V含量降低.Ti-Al-V-O纳米管阵列在550℃下晶化后,其表面形貌可保持规则的纳米阵列结构,而在更高温度下热处理可导致纳米管阵列局部坍塌并发生表面烧结致密化现象.
在醇基介質中採用暘極氧化方法成功在Ti6Al4V閤金錶麵製備齣大麵積的α和β相均為納米管結構陣列.通過掃描電子顯微鏡(SEM)和X射線能譜儀(EDXA)對納米管陣列的錶麵形貌、微結構和熱穩定性進行瞭錶徵.實驗結果錶明:在醇基溶液中採用暘極氧化方法製備大麵積納米管陣列時,外加電壓的增加有利于閤金錶麵多孔納米結構的形成.在外加電壓為30 V時,Ti6Al4V閤金錶麵的雙相區均穫得較為均勻的納米管陣列.Ti-Al-V-O納米管陣列管長約900 nm、管徑約90 nm、壁厚約7.4 nm.EDXA結果錶明:在暘極氧化後,錶麵Al和V含量降低.Ti-Al-V-O納米管陣列在550℃下晶化後,其錶麵形貌可保持規則的納米陣列結構,而在更高溫度下熱處理可導緻納米管陣列跼部坍塌併髮生錶麵燒結緻密化現象.
재순기개질중채용양겁양화방법성공재Ti6Al4V합금표면제비출대면적적α화β상균위납미관결구진렬.통과소묘전자현미경(SEM)화X사선능보의(EDXA)대납미관진렬적표면형모、미결구화열은정성진행료표정.실험결과표명:재순기용액중채용양겁양화방법제비대면적납미관진렬시,외가전압적증가유리우합금표면다공납미결구적형성.재외가전압위30 V시,Ti6Al4V합금표면적쌍상구균획득교위균균적납미관진렬.Ti-Al-V-O납미관진렬관장약900 nm、관경약90 nm、벽후약7.4 nm.EDXA결과표명:재양겁양화후,표면Al화V함량강저.Ti-Al-V-O납미관진렬재550℃하정화후,기표면형모가보지규칙적납미진렬결구,이재경고온도하열처리가도치납미관진렬국부담탑병발생표면소결치밀화현상.
