一种基于厚膜工艺的高集成度FAIMS迁移管的研制
일충기우후막공예적고집성도FAIMS천이관적연제
Design and fabrication of a highly integrated ion drift tube of FAIMS based on thick film technology
  • 万方数据
    分析仪器 분석의기
    ANALYTICAL INSTRUMENTATION
    2012年 2期 6-11 ,共6页

    赵聪%陈池来%陈然%王焕钦%王电令%刘友江%高钧%尤晖%孔德义%Juergen Brugger

    조총%진지래%진연%왕환흠%왕전령%류우강%고균%우휘%공덕의%Juergen Brugger

    高场不对称波形离子迁移谱%高集成度%迁移管%厚膜工艺 高場不對稱波形離子遷移譜%高集成度%遷移管%厚膜工藝
    고장불대칭파형리자천이보%고집성도%천이관%후막공예
    基于厚膜工艺,研制了一种集成有进样接口、气路接口、温控元件和离子源固定装置等外围功能模块的高集成度FAIMS迁移管,阐述了其结构特征和制作方法.为验证其性能,搭建了相应的FAIMS外围检测平台,以丙酮和甲苯为样品进行实验,得到了它们的FAIMS谱图,并与基于MEMS工艺的非集成FAIMS迁移管所测得的丙酮和甲苯的谱图比较,证明了高集成度迁移管在功耗、漏电流、气密性、灵敏度、分辨率和稳定性等方面的优异性能,说明高集成度迁移管适合作为小型化FAIMS独立检测系统的核心器件.
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