光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2000年
11期
1565-1569
,共5页
激光等离子体%原位发射光谱%类金刚石薄膜
激光等離子體%原位髮射光譜%類金剛石薄膜
격광등리자체%원위발사광보%류금강석박막
用YAG脉冲激光轰击真空室内的石墨靶,可以形成包含碳素的激光等离子体,并在硅或石英衬底上淀积形成某种类型的碳膜.用光学多道分析仪原位测量了激光等离子体的发射光谱,给出反应空间可能存在的反应基团有碳原子、碳离子、碳分子等,用拉曼光谱研究了薄膜的结构,证明所形成的薄膜为类金刚石膜,并得出碳原子和碳离子与薄膜的类金刚石结构有关.制备过程中,氢的参与有利于薄膜中金刚石成分的形成.空间分辨的原位激光等离子体发射光谱表明,在反应空间存在薄膜形成的最佳位置.
用YAG脈遲激光轟擊真空室內的石墨靶,可以形成包含碳素的激光等離子體,併在硅或石英襯底上澱積形成某種類型的碳膜.用光學多道分析儀原位測量瞭激光等離子體的髮射光譜,給齣反應空間可能存在的反應基糰有碳原子、碳離子、碳分子等,用拉曼光譜研究瞭薄膜的結構,證明所形成的薄膜為類金剛石膜,併得齣碳原子和碳離子與薄膜的類金剛石結構有關.製備過程中,氫的參與有利于薄膜中金剛石成分的形成.空間分辨的原位激光等離子體髮射光譜錶明,在反應空間存在薄膜形成的最佳位置.
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