电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2004年
4期
70-73
,共4页
封闭式%空气过滤系统%气流导向系统%嵌入式%片盒站%化学品供应站
封閉式%空氣過濾繫統%氣流導嚮繫統%嵌入式%片盒站%化學品供應站
봉폐식%공기과려계통%기류도향계통%감입식%편합참%화학품공응참
介绍了KINGSEMI封闭式晶片处理系统.它是满足深亚微米光刻工艺要求的Cluster结构.有占地小,采用空气过滤(MFC)及气流导向(FFU)等控制系统,对局部环境进行温湿度控制等优点;智能型化学品自动供应站精确地控制光刻胶、显影液等化学试剂的用量.片盒站机械手和工艺单元机器人联合传送晶片,准确、安全、快捷;备有容纳4个片架盒的片盒站,可同时处理两种不同尺寸的晶片.嵌入式控制软件,Windows NT操作系统,构成良好的人机界面,操作方便.
介紹瞭KINGSEMI封閉式晶片處理繫統.它是滿足深亞微米光刻工藝要求的Cluster結構.有佔地小,採用空氣過濾(MFC)及氣流導嚮(FFU)等控製繫統,對跼部環境進行溫濕度控製等優點;智能型化學品自動供應站精確地控製光刻膠、顯影液等化學試劑的用量.片盒站機械手和工藝單元機器人聯閤傳送晶片,準確、安全、快捷;備有容納4箇片架盒的片盒站,可同時處理兩種不同呎吋的晶片.嵌入式控製軟件,Windows NT操作繫統,構成良好的人機界麵,操作方便.
개소료KINGSEMI봉폐식정편처리계통.타시만족심아미미광각공예요구적Cluster결구.유점지소,채용공기과려(MFC)급기류도향(FFU)등공제계통,대국부배경진행온습도공제등우점;지능형화학품자동공응참정학지공제광각효、현영액등화학시제적용량.편합참궤계수화공예단원궤기인연합전송정편,준학、안전、쾌첩;비유용납4개편가합적편합참,가동시처리량충불동척촌적정편.감입식공제연건,Windows NT조작계통,구성량호적인궤계면,조작방편.
