传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2004年
9期
40-41,44
,共3页
姚东媛%文彬%谢胜秋%邹向光
姚東媛%文彬%謝勝鞦%鄒嚮光
요동원%문빈%사성추%추향광
硅-蓝宝石%压力传感器芯片%调整电阻
硅-藍寶石%壓力傳感器芯片%調整電阻
규-람보석%압력전감기심편%조정전조
介绍了硅-蓝宝石压力传感器芯片外延硅层上调整电阻的设计和应用,通过设计调整电阻来实现芯片的电桥平衡,达到了调整其输出特性、改善传感器性能、提高芯片适用性的目的.
介紹瞭硅-藍寶石壓力傳感器芯片外延硅層上調整電阻的設計和應用,通過設計調整電阻來實現芯片的電橋平衡,達到瞭調整其輸齣特性、改善傳感器性能、提高芯片適用性的目的.
개소료규-람보석압력전감기심편외연규층상조정전조적설계화응용,통과설계조정전조래실현심편적전교평형,체도료조정기수출특성、개선전감기성능、제고심편괄용성적목적.
