光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2005年
2期
237-240
,共4页
光波导%离子交换%表面等离子波%氢敏传感器
光波導%離子交換%錶麵等離子波%氫敏傳感器
광파도%리자교환%표면등리자파%경민전감기
基于离子交换波导的集成型器件是氢敏传感器中很有发展潜力的一种.传感区域由离子交换波导及其表面的金属钯膜组成,通过有限差分法(FDM)计算了这种波导结构中的导模及表面等离子模的模场分布,分析了其传播特性与钯膜光学常数的关系,并结合束传播方法(BPM)对钯膜的厚度进行了优化,使其具有最高的灵敏度.
基于離子交換波導的集成型器件是氫敏傳感器中很有髮展潛力的一種.傳感區域由離子交換波導及其錶麵的金屬鈀膜組成,通過有限差分法(FDM)計算瞭這種波導結構中的導模及錶麵等離子模的模場分佈,分析瞭其傳播特性與鈀膜光學常數的關繫,併結閤束傳播方法(BPM)對鈀膜的厚度進行瞭優化,使其具有最高的靈敏度.
기우리자교환파도적집성형기건시경민전감기중흔유발전잠력적일충.전감구역유리자교환파도급기표면적금속파막조성,통과유한차분법(FDM)계산료저충파도결구중적도모급표면등리자모적모장분포,분석료기전파특성여파막광학상수적관계,병결합속전파방법(BPM)대파막적후도진행료우화,사기구유최고적령민도.
