功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2005年
9期
1312-1315
,共4页
钟智勇%刘爽%赵文多%李敏姬%张怀武
鐘智勇%劉爽%趙文多%李敏姬%張懷武
종지용%류상%조문다%리민희%장부무
纳米球刻蚀%纳米阵列%纳米加工
納米毬刻蝕%納米陣列%納米加工
납미구각식%납미진렬%납미가공
纳米球刻蚀技术是一种并行的制备纳米点阵的自组装方法,其核心是二维有序纳米胶体球阵列掩膜的制备.本文详细介绍了二维有序纳米胶体球阵列掩膜的各种自组装合成原理与方法,分析了各种工艺参数的纳米阵列的影响.最后,综述了纳米球刻蚀技术的发展状况与趋势.
納米毬刻蝕技術是一種併行的製備納米點陣的自組裝方法,其覈心是二維有序納米膠體毬陣列掩膜的製備.本文詳細介紹瞭二維有序納米膠體毬陣列掩膜的各種自組裝閤成原理與方法,分析瞭各種工藝參數的納米陣列的影響.最後,綜述瞭納米毬刻蝕技術的髮展狀況與趨勢.
납미구각식기술시일충병행적제비납미점진적자조장방법,기핵심시이유유서납미효체구진렬엄막적제비.본문상세개소료이유유서납미효체구진렬엄막적각충자조장합성원리여방법,분석료각충공예삼수적납미진렬적영향.최후,종술료납미구각식기술적발전상황여추세.
