电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2007年
1期
37-40,45
,共5页
邱美艳%杜鹏%孙以材%潘国锋
邱美豔%杜鵬%孫以材%潘國鋒
구미염%두붕%손이재%반국봉
ZnO薄膜%掺杂%溅射%气敏特性%灵敏度
ZnO薄膜%摻雜%濺射%氣敏特性%靈敏度
ZnO박막%참잡%천사%기민특성%령민도
用直流磁控溅射法分别在Si(111)基片及陶瓷基片上制备掺有TiO2的ZnO薄膜,并进行500℃、700℃退火处理,对掺杂前后ZnO薄膜进行XRD分析,测试各掺杂样品气敏特性.500℃退火后,各掺杂样品对有机气体有较高的灵敏度,随着掺杂时间延长,气敏特性提高.700℃退火后,2 min掺杂的样品对乙醇有很高的灵敏度和很好的选择性,最佳工作温度为220℃左右.而其他掺杂量的样品对乙醇气体灵敏度低,随着掺杂时间延长,气敏特性降低.
用直流磁控濺射法分彆在Si(111)基片及陶瓷基片上製備摻有TiO2的ZnO薄膜,併進行500℃、700℃退火處理,對摻雜前後ZnO薄膜進行XRD分析,測試各摻雜樣品氣敏特性.500℃退火後,各摻雜樣品對有機氣體有較高的靈敏度,隨著摻雜時間延長,氣敏特性提高.700℃退火後,2 min摻雜的樣品對乙醇有很高的靈敏度和很好的選擇性,最佳工作溫度為220℃左右.而其他摻雜量的樣品對乙醇氣體靈敏度低,隨著摻雜時間延長,氣敏特性降低.
용직류자공천사법분별재Si(111)기편급도자기편상제비참유TiO2적ZnO박막,병진행500℃、700℃퇴화처리,대참잡전후ZnO박막진행XRD분석,측시각참잡양품기민특성.500℃퇴화후,각참잡양품대유궤기체유교고적령민도,수착참잡시간연장,기민특성제고.700℃퇴화후,2 min참잡적양품대을순유흔고적령민도화흔호적선택성,최가공작온도위220℃좌우.이기타참잡량적양품대을순기체령민도저,수착참잡시간연장,기민특성강저.
