光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2009年
4期
88-92
,共5页
杜康%徐伟%贺中信%吴智量%彭军
杜康%徐偉%賀中信%吳智量%彭軍
두강%서위%하중신%오지량%팽군
色度学%金刚石膜%饱和纯度%色度纯度
色度學%金剛石膜%飽和純度%色度純度
색도학%금강석막%포화순도%색도순도
运用自行设计的直接耦合石英管微波等离子体化学气相沉积(microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)装置,以氢气和甲烷为反应气体,沉积出八个金刚石膜样品.研究了甲烷浓度对所沉积金刚石膜色度的影响.结果显示随着甲烷浓度的升高,饱和纯度和色纯度逐渐升高,甲烷浓度达到5.863%时,饱和纯度和色度纯度达到最大,分别为8.5%和9.5%,之后随着CH4浓度的升高饱和纯度和色纯度开始下降.
運用自行設計的直接耦閤石英管微波等離子體化學氣相沉積(microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)裝置,以氫氣和甲烷為反應氣體,沉積齣八箇金剛石膜樣品.研究瞭甲烷濃度對所沉積金剛石膜色度的影響.結果顯示隨著甲烷濃度的升高,飽和純度和色純度逐漸升高,甲烷濃度達到5.863%時,飽和純度和色度純度達到最大,分彆為8.5%和9.5%,之後隨著CH4濃度的升高飽和純度和色純度開始下降.
운용자행설계적직접우합석영관미파등리자체화학기상침적(microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)장치,이경기화갑완위반응기체,침적출팔개금강석막양품.연구료갑완농도대소침적금강석막색도적영향.결과현시수착갑완농도적승고,포화순도화색순도축점승고,갑완농도체도5.863%시,포화순도화색도순도체도최대,분별위8.5%화9.5%,지후수착CH4농도적승고포화순도화색순도개시하강.
