真空
真空
진공
VACUUM
2010年
6期
33-36
,共4页
孟冬辉%闫荣鑫%孙立臣%刘恩均%张海峰
孟鼕輝%閆榮鑫%孫立臣%劉恩均%張海峰
맹동휘%염영흠%손립신%류은균%장해봉
检漏%低温泵%灵敏度%反应时间
檢漏%低溫泵%靈敏度%反應時間
검루%저온빙%령민도%반응시간
由于分子泵对氦气有较大抽速,因此在真空检漏系统中通常用分子泵作为主泵,但当检漏容器很大时需要大量分子泵.低温泵具有清洁无油、抽速大的优点,如果在检漏系统中能够采用低温泵作为主泵,可以大大减少真空泵数量.本文对以低温泵为主泵的真空检漏系统进行了实验研究,并对实验现象进行了分析.研究结果表明,低温泵可以有效提高检漏系统的工作真空度,对检漏系统的有效灵敏度影响很小,但以低温泵为主泵的检漏系统的反应时间比以分子泵为主泵的检漏系统反应时间长.
由于分子泵對氦氣有較大抽速,因此在真空檢漏繫統中通常用分子泵作為主泵,但噹檢漏容器很大時需要大量分子泵.低溫泵具有清潔無油、抽速大的優點,如果在檢漏繫統中能夠採用低溫泵作為主泵,可以大大減少真空泵數量.本文對以低溫泵為主泵的真空檢漏繫統進行瞭實驗研究,併對實驗現象進行瞭分析.研究結果錶明,低溫泵可以有效提高檢漏繫統的工作真空度,對檢漏繫統的有效靈敏度影響很小,但以低溫泵為主泵的檢漏繫統的反應時間比以分子泵為主泵的檢漏繫統反應時間長.
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