功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2004年
2期
236-238
,共3页
杨道虹%徐晨%董典红%金文贤%阳启明%张剑铭%沈光地
楊道虹%徐晨%董典紅%金文賢%暘啟明%張劍銘%瀋光地
양도홍%서신%동전홍%금문현%양계명%장검명%침광지
MEMS%Nd:YAG激光%硅/玻璃%键合
MEMS%Nd:YAG激光%硅/玻璃%鍵閤
MEMS%Nd:YAG격광%규/파리%건합
运用Nd:YAG激光在功率300W、光束运动速度为0.05m/s、光束直径为700μm的条件下能得到键合强度平均为9.3MPa的硅/玻璃熔融键合效果.该键合方法能进行选择区域键合,完全避免了由于键合过程中电场给超薄敏感可动微结构带来的畸变甚至失效,为新型室温红外探测器的研制奠定了良好的工艺基础.
運用Nd:YAG激光在功率300W、光束運動速度為0.05m/s、光束直徑為700μm的條件下能得到鍵閤彊度平均為9.3MPa的硅/玻璃鎔融鍵閤效果.該鍵閤方法能進行選擇區域鍵閤,完全避免瞭由于鍵閤過程中電場給超薄敏感可動微結構帶來的畸變甚至失效,為新型室溫紅外探測器的研製奠定瞭良好的工藝基礎.
운용Nd:YAG격광재공솔300W、광속운동속도위0.05m/s、광속직경위700μm적조건하능득도건합강도평균위9.3MPa적규/파리용융건합효과.해건합방법능진행선택구역건합,완전피면료유우건합과정중전장급초박민감가동미결구대래적기변심지실효,위신형실온홍외탐측기적연제전정료량호적공예기출.
