半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2004年
5期
68-71
,共4页
刘剑霜%谢锋%陈一%胡刚
劉劍霜%謝鋒%陳一%鬍剛
류검상%사봉%진일%호강
扫描电子显微镜%透射电子显微镜%栅氧化层
掃描電子顯微鏡%透射電子顯微鏡%柵氧化層
소묘전자현미경%투사전자현미경%책양화층
简要介绍了扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)两种当前主要的电子显微分析工具在存储器器件分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用范围以及测量精度,指出两者的有机结合可以得到比较全面的分析结果.
簡要介紹瞭掃描電鏡(SEM)和透射電鏡(TEM)兩種噹前主要的電子顯微分析工具在存儲器器件分析過程中的應用,討論瞭它們各自的適用範圍以及測量精度,指齣兩者的有機結閤可以得到比較全麵的分析結果.
간요개소료소묘전경(SEM)화투사전경(TEM)량충당전주요적전자현미분석공구재존저기기건분석과정중적응용,토론료타문각자적괄용범위이급측량정도,지출량자적유궤결합가이득도비교전면적분석결과.
