中国工程科学
中國工程科學
중국공정과학
ENGINEERING SCIENCE
2004年
9期
50-55
,共6页
路小波%陆祖宏%周庆%王国著
路小波%陸祖宏%週慶%王國著
로소파%륙조굉%주경%왕국저
扫描探针显微镜%自动逼近%自动聚焦%图像拼接
掃描探針顯微鏡%自動逼近%自動聚焦%圖像拼接
소묘탐침현미경%자동핍근%자동취초%도상병접
介绍了一种大面积扫描探针显微镜.仪器采用大范围扫描与高精度微动扫描相分离、X-Y扫描与纵向检测相分离的方案,同时具备较大扫描范围和较高的分辨率,扫描重复性好,大面积扫描范围220 mm×290 mm×60 mm,重复性2～3μm,并可实现探针的自动逼近、光学显微镜自动聚焦和图像自动拼接.
介紹瞭一種大麵積掃描探針顯微鏡.儀器採用大範圍掃描與高精度微動掃描相分離、X-Y掃描與縱嚮檢測相分離的方案,同時具備較大掃描範圍和較高的分辨率,掃描重複性好,大麵積掃描範圍220 mm×290 mm×60 mm,重複性2～3μm,併可實現探針的自動逼近、光學顯微鏡自動聚焦和圖像自動拼接.
개소료일충대면적소묘탐침현미경.의기채용대범위소묘여고정도미동소묘상분리、X-Y소묘여종향검측상분리적방안,동시구비교대소묘범위화교고적분변솔,소묘중복성호,대면적소묘범위220 mm×290 mm×60 mm,중복성2～3μm,병가실현탐침적자동핍근、광학현미경자동취초화도상자동병접.
