机电工程
機電工程
궤전공정
MECHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING MAGAZINE
2005年
1期
22-26
,共5页
欧阳航空%陆林海%侯彦丽
歐暘航空%陸林海%侯彥麗
구양항공%륙림해%후언려
定位系统%误差补偿%定位精度%PMAC
定位繫統%誤差補償%定位精度%PMAC
정위계통%오차보상%정위정도%PMAC
简要地介绍了研制的大行程纳米定位系统宏动工作台的组成,详细地分析了其系统误差特性及几种误差补偿方法.实验表明,通过双向螺距误差补偿法可使其定位精度得到较大的改善.
簡要地介紹瞭研製的大行程納米定位繫統宏動工作檯的組成,詳細地分析瞭其繫統誤差特性及幾種誤差補償方法.實驗錶明,通過雙嚮螺距誤差補償法可使其定位精度得到較大的改善.
간요지개소료연제적대행정납미정위계통굉동공작태적조성,상세지분석료기계통오차특성급궤충오차보상방법.실험표명,통과쌍향라거오차보상법가사기정위정도득도교대적개선.