CAJ | 학술논문

主要研究了聚酰胺酸的合成和成膜,聚酰亚胺的热环化,柱腔充气靶的组装和检测,柱腔充气系统的研制,靶场装配和测量,采用准动态充气方式的充气工艺等.研究表明,在二胺和二酐按摩尔比1.01:1～1.02:1,反应温度0～5℃,反应时间2～3 h条件下,可以制备出厚度0.2～1.0 μm的聚酰亚胺薄膜;薄膜表面光洁度达0.3～0.4 nm,厚度起伏小于5%,薄膜厚度均匀性和表面光洁度都能满足充气靶端口膜的需要,可承受0.1 MPa的压力差;利用柱腔充气系统,可以实现打靶现场配气与充气,并准确控制和测量靶内的气压,测量的误差小于0.1%.
주요연구료취선알산적합성화성막,취선아알적열배화,주강충기파적조장화검측,주강충기계통적연제,파장장배화측량,채용준동태충기방식적충기공예등.연구표명,재이알화이항안마이비1.01:1～1.02:1,반응온도0～5℃,반응시간2～3 h조건하,가이제비출후도0.2～1.0 μm적취선아알박막;박막표면광길도체0.3～0.4 nm,후도기복소우5%,박막후도균균성화표면광길도도능만족충기파단구막적수요,가승수0.1 MPa적압력차;이용주강충기계통,가이실현타파현장배기여충기,병준학공제화측량파내적기압,측량적오차소우0.1%.