装备制造技术
裝備製造技術
장비제조기술
EQUIPMENT MANUFACTURING TECHNOLOGY
2010年
1期
45-47
,共3页
王权岱%向家伟%杨连发%段玉岗
王權岱%嚮傢偉%楊連髮%段玉崗
왕권대%향가위%양련발%단옥강
准LIGA工艺%对准%精度分析
準LIGA工藝%對準%精度分析
준LIGA공예%대준%정도분석
系统分析了分层压印准LIGA工艺中对准系统的误差来源,给出了相应的消减误差的措施,并对经过畸变校正、自动聚焦及环境保障后对准系统的套印精度进行了实验研究,结果表明系统套印精度达到1.5μm,可以满足分层压印准LIGA工艺制作微米级微结构对准的需要.
繫統分析瞭分層壓印準LIGA工藝中對準繫統的誤差來源,給齣瞭相應的消減誤差的措施,併對經過畸變校正、自動聚焦及環境保障後對準繫統的套印精度進行瞭實驗研究,結果錶明繫統套印精度達到1.5μm,可以滿足分層壓印準LIGA工藝製作微米級微結構對準的需要.
계통분석료분층압인준LIGA공예중대준계통적오차래원,급출료상응적소감오차적조시,병대경과기변교정、자동취초급배경보장후대준계통적투인정도진행료실험연구,결과표명계통투인정도체도1.5μm,가이만족분층압인준LIGA공예제작미미급미결구대준적수요.
